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LSIなど電子デバイス配線の信頼性評価方法および損傷防止方法の開発
電子デバイスの微細化により配線を流れる電流密度は増加の一途をたどっています。電流密度の増加により生じるエレクトロマイグレーション(EM)という現象により配線が損傷していく過程の、数値シミュレーションを行うことで集積回路の設計段階で配線寿命と損傷箇所を高精度化かつ簡便に予測する信頼性評価法を開発するとともに、評価法を利用してより信頼性の高い配線構造を模索しています。 |
銅箔電極と感圧導電ゴムを用いて、薄くしなやかな固体間接触圧力センサを開発しています。生体に作用する力の伝達機構の解明と、その検討結果を用いてより高機能な医療・福祉機器の開発に関する研究を行っています。 |
○熱電効果発電システムの開発に関する研究
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○これらの研究は既に社会で活躍しています
アメリカ合衆国の特許証 |
○特許 ・エレクトロマイグレーションの強度評価関連 アメリカ、台湾、韓国での国際特許を3件取得済みです。日本国内での特許は4件取得済みです。 また、現在1件の国内特許を申請中です。 ・バイオメカニカル関連 内視鏡手術への応用を目指した生体内接触圧力測定システムの特許を1件取得。生体に作用する接触圧力とせん断応力の同時分布測定システムに関しても1件取得しました。 また、現在1件の国内特許を申請中です。 ・熱電発電システム関連 発電効率向上のための国内特許を現在1件申請中です。 ○製品化情報 ・バイオメカニカル分野における、メッシュタイプセンサは既に製品化され、販売されています。 |