2004年度学術論文

 
Electromigration Failure of Metal Lines [Abstracts of 11th International Conference on Fracture, Turin, Italy, (2005-3/20~25), 17]
H. Abé, K. Sasagawa and M. Saka



Derivation of Film Characteristic Constants by Using Governing Parameter for Electromigration Damage in Passivated Bamboo Line [Proceedings of 11th International Conference on Fracture(CD-ROM), (2005-3/20~25) , Turin, Italy, Paper ID: 3699]
M. Hasegawa, K. Sasagawa and M. Saka



チェアスキーにおけるシート－臀部間の接触圧力分布の測定　[日本機械学会東北学生会　第35回卒業研究発表講演会　講演論文集, 名取/宮城工業高等専門学校, (2005-3/5), 1-2]
笹川和彦, 矢島久幸

Dynamic Measurement of Pressure Distribution on Seat-interface in Sit-ski [Proc. of the 2005 Annual Meeting of JSME Tohoku Regional Student Division, Natori/Miyagi National College of Technology, (2005-3/5), 1-2]
K. Sasagawa and H. Yajima



二次元形状を有する多結晶配線のエレクトロマイグレーション損傷しきい電流密度に関する研究　[日本機械学会　東北学生会　第35回卒業研究発表講演会　講演論文集, 名取/宮城工業高等専門学校, (2005-3/5), 11-12]
山路 尚, 笹川和彦, 宇野茂雄, 坂真澄

Research on Threshold Current Density of Electromigration Damage in Polycrystalline Lines with Two-Dimensional Shape [Proc. of the 2005 Annual Meeting of JSME Tohoku Regional Student Division, Natori/Miyagi National College of Technology, (2005-3/5), 11-12]
N. Yamaji, K. Sasagawa, S. Uno and M. Saka



ドリフト速度計測によるバンブー金属配線の物性定数の導出　[日本機械学会　第17回計算力学講演会　講演論文集, No.04-40, 仙台/仙台市民会館, (2004-11/18~20), 805-806]
長谷川昌孝, 笹川和彦, 宇野茂雄

Derivation of Film Characteristic Constants in Bamboo Line by Drift Velocity Measurement [Proc. the 17th JSME Computational Mechanics Conference, No.04-40, Sendai/Sendai Citizen Hall, (2004-11/18~20), 805-806]
M. Hasegawa, K. Sasagawa and S. Uno



Derivation of Film Characteristic Constants of Polycrystalline Line for Reliability Evaluation against Electromigration Failure [Proc. 2004 ASME International Mechanical Engineering Congress & Exposition, ASME, (2004-11/13~19), Anaheim, USA, Paper ID: IMECE2002-60620]
M. Hasegawa, K. Sasagawa, S. Uno, M. Saka and H. Abé



Verification of Prediction Method for Electromigration Failure Using Angled Polycrystalline Line　[Abstracts of Asian Pacific Conference for Fracture and Strength '04, Lotte Hotel Jeju, Korea, (2004-10/6~8), 105]
S. Uno, M. Hasegawa, K. Sasagawa and M. Saka



LSI配線におけるエレクトロマイグレーション特性に関する物性定数の導出としきい電流密度の評価　[第2回マイクロマテリアルシンポジウム　講演論文集, 東京/東工大 (2004-9/27~28), 80-83]
笹川和彦, 長谷川昌孝, 宇野茂雄, 坂真澄

Derivation of Film Constants Concerning Electromigration Characteristics and Evaluation of Threshold Current Density [Proc. the 2nd Symposium on Micromaterials, Tokyo/Tokyo Institute of Technology, (2004-9/27~28), 80-83]
K. Sasagawa, M. Hasagawa, S. Uno and M. Saka



エレクトロマイグレーション前後におけるアルミバルク材の熱電能の検討　[日本機械学会東北支部　第10期秋季講演会　講演論文集, No.04-12, 秋田/秋田県立大学, (2004-9/17), 29-30]
笹川和彦, 佐藤匠, 坂真澄

Absolute Thermopower of Aluminume Wire before and after Electromigration [Proc. Autum Meeting of JSME Tohoku Division, No.04-12, Akita/Akita Prefectural University, (2004-9/17), 29-30]
K. Sasagawa, T. Sato and M. Saka



配線端部のドリフト速度計測による配線物性定数の導出法　[日本機械学会　2004年度年次大会　講演論文集, (I) , No.04-1, 札幌/北海道大学, (2004-9/5~9), 403-404]
長谷川昌孝, 笹川和彦, 宇野茂雄, 坂真澄

Derivation of the Film Characteristic Constants by Drift Velocity Measurement [Proc. Mechanical Engineering Congress in Japan, (I), No.04, Sapporo/Hokkaido University, (2004-9/5~9), 403-404]
M. Hasegawa, K. Sasagawa, S. Uno and M. Saka



ドリフト速度計測によるAl多結晶配線の物性定数の導出としきい電流密度の評価　[応用物理学会薄膜・表面物理分科会　第10回LSI配線における原子輸送および応力問題研究会　講演論文集, 東京/東京工業大学, (2004-7/15~16), 38-39]
長谷川昌孝, 笹川和彦, 宇野茂雄, 坂真澄

Derivation of Film Constants of Al Polycrystalline Line by Drift Velocity Measurement and Evaluation of Threshold Current [Proc. 10th Conf. Atomic Transportation and Stress Problem in LSI Metallization, Tokyo/Tokyo Institute of Technology, (2004-7/15~16), 39-40]
M. Hasegawa, K. Sasagawa, S. Uno and M. Saka